曲卓入行時,正是步進式投影光刻機發展的頂峰時期。
即便後來浸潤式光刻機出來了,國内在很長時間裡,依舊以幹式機為主。
那段時間裡,國内就是個破爛王國,佳能的Ex3L和5L、尼康的NSR-1010G,ASmL的FpA2500,SVGL的micrascanI,甚至GcA在78年推出的,當時來說已經老掉牙的第一代Stepper都能見到。
接觸的多了,曲卓對關聯的技術、結構和工藝什麼的了解的很詳細。
剔除掉其他工藝和流程,隻說光刻機本身,作為光源的氟化氪和氟化氩準分子激光……暫時就甭惦記,離得稍微有點遠。
眼下國内雖然可以自産高壓汞燈,但穩定性和壽命遠不達标。
450nm以上的穩定光源,曲卓有“收錄”。但隻能“買”出成品,沒有生産工藝和設備,對應的光刻膠也一樣。
至于I線和G線,好像是80年後漢斯先搞出來的。
鏡頭模組……已經收錄到了紫外高透玻璃,抛光、鍍膜、校準,對于腦子裡的“系統”來說完全沒有任何難度。
關鍵還是老問題,拿不出專用的高精度銑床。别說銑床了,小磨頭都不知道去哪“收錄”。
至于進一步提升精度的磁流變抛光、離子束抛光那些……唉~約等于讓駕校教練的去教潛水,全是知識盲區,太難為人了。
所以,依舊隻能想招給内陸提供成品,卻沒辦法完善産業鍊上的缺失。
尼康和佳能肯定能“摸”到不少玩意,問題是……想個什麼招兒呢?
對于一台光刻機來說,技術難度最高的就是光學及相關部分。其它的……雖然“素材”還欠缺很多,但隻搞出個唬人的大框,基本談不上多大的難度。
隻要讓英國佬以為,我們在技術層面,甚至是實驗室層面的完成度已經足夠高了。除了欠缺幾項關鍵技術和工藝,主要缺乏的不過是工業化和體系化生産的能力就行。
再加上領先的集成電路設計能力和通用型系統,砝碼絕對夠重。
綜合起來看,曲卓要實現上面的意圖……不難,卻不能輕易的答應。
可開出什麼樣的條件,他還真沒想好。
小來小去沒意思。
要狠了,就算眼下上面沒招,捏着鼻子答應了,過後保不齊就會想招找後賬。
甭以為位子高的人,就一定大氣。不過是更加懂得取舍和權衡罷了。
而曲卓的策略是,本職工作毫無二話,保質保量完成的同時,還會交出超出預期的答卷。
但工作範圍之外的事,就得掂量掂量拿捏拿捏了。
不掂量不拿捏,就得讓人逮着了往死裡攥……
梅宣甯氣呼呼的走了,曲卓樂呵呵的相送。
他知道梅老二回去後,肯定會把問題扔回給安全部門,讓那幫人自己看着辦。
這也是曲卓半步不退的原因。
畢竟今天談的内容,跟曲卓是不相幹的,跟梅宣甯也是不相幹的。
如果是梅宣甯的事,态度自然就不一樣了。能辦的話,制造點難度就給辦了。
因為,這位是真大腿,做人也比較講究,多賣點人情沒壞處。一旦後面哪天出了什麼纰漏,能頂大用呢。
前提是,得讓梅老二知道欠下人情份量有多重。
安全部門甩出來的這檔爛事兒,就是個很好的,可以用作稱量和比對的參照物……
隻要有事忙,時間過得就飛快。
曲卓以記憶中GcA的Stepper為基礎,參考佳能的Ex3L和尼康的NSR-1010G在穩定性和經濟性方面的部分技術,搞了台步進式光刻機的設計出來。
不知道多少次的修改和微調後,最終定稿。
随後,将加工流程拉展,由櫃式立體布局變成線式布局。
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